派拉纶(Parylene)涂层工艺是使用化学气相沉积(CVD)工艺在真空下沉积的。派拉纶(Parylene)的(CVD)工艺分为三个步骤(升华,热解,沉积)。首先,将二聚体(具有两个重复单元的前体)升华。下一步,在高于> 500°C的温度下通过热解将二聚体裂解为两种单体。然后,单体在基材表面(以及腔室表面)上聚合,形成线性聚合物链。后一步在室温下进行,得到派拉纶(Parylene)
派瑞林镀膜
派拉纶(Parylene)涂层工艺是使用化学气相沉积(CVD)工艺在真空下沉积的。派拉纶(Parylene)的(CVD)工艺分为三个步骤(升华,热解,沉积)。首先,将二聚体(具有两个重复单元的前体)升华。下一步,在高于> 500°C的温度下通过热解将二聚体裂解为两种单体。然后,单体在基材表面(以及腔室表面)上聚合,形成线性聚合物链。后一步在室温下进行,得到派拉纶(Parylene)保形涂层。通过的真空镀膜机,进行的镀膜加工生产。
采用压力控制器方案,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制良好的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由质量流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。
Parylene 具有高度惰性与高纯度特点,且介电常数和介电损失都很低,由于涂层纯度高,水汽渗透率低,无离子污染 ,因此不受潮气的影响。由于 Parylene 的固化是自动生成的,并在沉积前就完成了,因此基体不会涉及到薄膜涂层的固化应力、溶剂溶解特性及沉积温度高低的限制等问题。
方面的应用主要是涂敷Parylene以后,在产品表面形成的薄膜具有生物相容性和隔离润滑性等特性,这对导尿管、针头、骨骼假体、心脏起搏器、窥视光学镜头的生产具有重要而深刻的意义,足以引起国内行业的一场工艺革命。它对人体血液没有影响,且具有抗生物腐蚀能力,已经通过美国和食品管理局 ( FDA) 认可,可长期植入人体。
Parylene是20世纪60年代中期美国联合碳化物公司开发的一种分子级敷型涂层材料,是的聚对二(poly-P-xylylene)聚合物系列的通用名称,根据分子结构的不同,可分为Parylene N、C、D、HT、F型等多种类型。
Parylene N是一种很好的介电材料,具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。它是所有Parylene中穿透能力高的一种,有很好的自润滑性,摩擦系数为0.25。符合ISO-10993生物试验要求,符合UDP第六类塑料的生物试验要求。
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