爱德华分子泵控制器维修分子泵类型「潽拓光电」

潽拓——{精}，分子泵 广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养 主要特性和优势 占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
爱德华分子泵控制器维修


潽拓——{精}，分子泵


广州潽拓，EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养






主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

受zhuanli保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。





广州潽拓——{精}，分子泵

EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修




爱德华EPX 180真空干泵

Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。








爱德华IPX100真空泵维修 BOC EDWARDS IPX100


分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
这种泵具

企业名片

广州潽拓光电科技有限公司 邹先生(True)  /

联系地址：中国·广东省·广州市·广州市番禺区化龙镇潭山环村公路1-1号（邮编:510000） 联系电话：137-28080527 手机：13728080527 联系传真：137-28080527 电子邮箱：13728080527@139.com 联系QQ：421227929 网铺地址：wsnbmye257062.cn.cn5135.com 所有产品 所有报价 所有供求