净化工程——洁净室
单向流洁净室一般有两种类型,即水平流和垂直流。在水平流系统中,气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中,气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合,就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60
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净化工程——洁净室
单向流洁净室一般有两种类型,即水平流和垂直流。在水平流系统中,气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中,气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合,就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况:气流以一个方向流动(或是垂直的或是水平的),并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的均速流过整个空间。图1是典型的垂直流洁净室的剖面图。从图中可以看出,由满布洁净室吊顶的过滤器向室内送风。气流有如一个空气活塞,向下流经室内,带走污染物,然后从地面排出。(1)对生产效率的影响室内生产环境对生产效率的影响体现在以下两方面:首先,良好的生产环境不仅可以保障生产人员的身心健康和出勤率,而且能够提高他们的工作情绪和积极性。又在与外部的一些新鲜空气混合后,再循环至过滤器。
净化工程——气压规定
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。 3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。
无尘车间等级划分
无尘车间等级划分 半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在半导体工
半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在无尘车间内进行,集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资,多因为需要一个无尘车间。所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。

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