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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患;价格低。
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体,主要原因如下:
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空
真空箱式氦检漏系统
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患;价格低。
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体,主要原因如下:
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
3、氦是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件,使用安全。
4、在氦两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与氦相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找氦峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。24×10-6,如果氦气在环境中的含量超过标准,可以比较容易地探测到极微量的氦气。
5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好,然而由于氢一方面有易1爆危险,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低,所以很少采用。
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检漏设备在检测时需要留意的事项
检漏设备来讲,咱们其实也便是要留意,这个方面来讲,其实也便是能够的找出它的走漏点,其本钱来讲其实也便是会比较高,咱们的检漏设备其实也便是能够合适批量化作业;今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势,希望对您有所帮助。这个方面来讲的话,咱们其实也便是要留意,关于其检漏设备应该在无风状态下进行运用。
再者,咱们其实也便是要留意,关于检漏设备检测气密性的时分,首要来讲,其实也便是要留意制止呈现揉捏的现象,简略来讲,其实也便是要直接的制止其践踏仪器或者是直接的坐在仪器上,或者是在咱们的仪器上直接的摆放其他物品。
氦质谱检漏仪
充氦法
的整体检漏就是可以用这种方法,将放入大型环模室中,利用环模设备的真空系统将环模抽成真空,先用辅助泵进行粗抽和预抽,在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后,将氦气充入中,压力保持和工作的压力一致,开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器,就可以直接测量的漏率了。2S检漏口:300Pa极限真空:5×10-4Pa外形尺寸:5