氦质谱检漏仪性能试验方法
反应时间、清除时间及其测定
反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到大值的(1-e-1)倍(即O. 63)所需要的时间，记为τR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到大值后，停止送氦，其讯号下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。
工作真空、极限真空及入口处抽速
质谱室极限真空，
进口检漏仪
氦质谱检漏仪性能试验方法
反应时间、清除时间及其测定
反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到大值的(1-e-1)倍(即O. 63)所需要的时间，记为τR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到大值后，停止送氦，其讯号下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。
工作真空、极限真空及入口处抽速
质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
折叠手动便携式检漏仪
手动便携式检漏仪的显著优点：
(1)：手动便携式检漏仪是一款实用的检漏仪，可覆盖广大的应用领域，极具竞争性的价格及较低的使用成本，大抽速前级泵的设计，可缩短抽气时间，提高使用效率；
(2)自我保护功能：在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能，系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空，且不需要液氮；
(3)结构灵活：可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于此款检漏仪，您既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。
氢质谱检漏仪系统的氨质谱检漏仪关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气 ，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点：
1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内;
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可;
3.不会受到主观因素判断的影响;
4.检测的数据;
5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。
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