因此设计了速动装置，以进步触头分合速度，加强灭弧效果，处置辅助开关开断才干问题。至于断路器，其分、合闸速度较高，普通分、合闸时间为20～150ms与其同步动作的辅助开关分合速度也较高，电弧容易熄灭，因此不用带速动装置。而且当断路器动作与辅助开关速动装置不同步时，可能损坏速动装置，影响辅助开关的机械寿命，带了速动装置有害无益。真空辅助开关，有的厂家相应也分为两种，但有的厂家一概带速动装置，选用时应留
干式无油螺杆真空泵
因此设计了速动装置，以进步触头分合速度，加强灭弧效果，处置辅助开关开断才干问题。至于断路器，其分、合闸速度较高，普通分、合闸时间为20～150ms与其同步动作的辅助开关分合速度也较高，电弧容易熄灭，因此不用带速动装置。而且当断路器动作与辅助开关速动装置不同步时，可能损坏速动装置，影响辅助开关的机械寿命，带了速动装置有害无益。真空辅助开关，有的厂家相应也分为两种，但有的厂家一概带速动装置，选用时应留意。
真空度，图一显示了间隙击穿电压和气体压强之间的关系。由图可以看到真空度高于10-2Pa（10-4托）时，击穿电压基本上不再随着气体压力的下降而增大，因为气体分子碰撞游离现象已不再起作用。当气体压力从l0-2Pa逐步升高时(真空度下降)，击穿强度逐渐下降，而在接近1托(102Pa左右)低，以后又随气压的而。从曲线上可以看出真空度高于10-2Pa时其耐压强度基本上保持不变。这就表明，真空灭弧室的真空度在10-2Pa以上时完全能够满足正常的使用需求。
爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）。与泵抽气体接触的表面防腐蚀损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，
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