空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。然而无尘室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越
无尘室设备拆卸运输公司
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。然而无尘室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。
1、无尘室厂区总图布局应考虑产品工艺特点和防止交叉污染,按生产、行政、生活和辅助区等合理布局,不得互相防碍。
2、无尘室厂区功能设施一定要配套,必须有保证产品生产所需的生产、仓库、科研、办公及水、电、汽、气公用工程等主要功能厂房设施以外,还应配备三废处理池、废渣料与垃圾临时堆放场地、停车库、机修、饭堂等辅助设施.辅助设施必须因地制宜,按实际需要配套,缺一都会影响厂区环境卫生,影响生产正常进行。所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
3、设置有无尘室的厂房与厂外周围环境的相对位置及与厂内其它厂房设施之间的相对位置,适用于远离产生粉尘、烟雾、有毒气体的污染源,在污染源上风侧,并有一定防护距离的原则。
在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内的浮游微粒子浓度,使用的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
除了人员进出洁净室须予以规范管理外,原材料及设备进出也必须经过洁净程序,方不至于影响洁净室洁净度。洁净室(无尘室)吸尘器的主要组成:大扒头:当清扫地面面积较大时,使用大扒头可有效的提高工作效率。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行,但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间,工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服,所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布,清洁剂除了使用超纯水之外,并加入3~5%浓度的IPA或化学品,以增强去污能力,由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面,必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板,作为辅助。
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