洁净室净化工程检测仪器的选用:虽然对净化车间内的洁净度的丈量,可以选用净化工程光散射粒子计数器、凝结的核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但现在用得多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应丈量,并且可以直接显现瞬时的含尘浓度,也可以对不同粒径的含尘浓度进行丈量,使用简单、方便、及时、灵敏。
关于洁净室等动
负压病房设计安装施工
洁净室净化工程检测仪器的选用:虽然对净化车间内的洁净度的丈量,可以选用净化工程光散射粒子计数器、凝结的核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但现在用得多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应丈量,并且可以直接显现瞬时的含尘浓度,也可以对不同粒径的含尘浓度进行丈量,使用简单、方便、及时、灵敏。
关于洁净室等动力采样的问题:所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,并且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。由于对净化工程的检测咱们主要关心两种粒径,即0.5um和5um。非等动力采样关于≤0.5um的粒子影响不大。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度,假如这些粒子不受非等动力条件的影响,则计算结果也不受影响。
我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初,在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的规划、建造开展很快,相继建成一批洁净厂房,并研制成功100级单向流洁净室;与此同时,洁净厂房用设备和资料,如过滤器,洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功,并投入出产,虽然制作质量和某些工程指标与世界水平尚有差距,但已能满足国内部分需求,到20世纪70年代末我国洁净室规划、建造和洁净工程的开展走向成熟阶段。
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