排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和有害气体的洁净室，被排介质毒性大
净化车间施工
排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和有害气体的洁净室，被排介质毒性大的、有易1燃易1爆气体的岗位，应单独设局部排风系统。
动态洁净室：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，可从事正常的工作。在洁净车间技术发展中，它与许多行业和学科密不可分，具有自己的特点。我们必须学习和吸收各行业、各学科的成就、经验和优势。善于根据自身特点，充分发挥和积极调动各领域的科技人员。洁净室对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等要求是非常高的，因此一般在做净化工程的时候在洁净室安装的过滤器都是过滤器。
洁净外走廊和其他辅助用房采用彩钢板，彩钢板板厚度必须按执行。通过洁净车间技术在净化工程的应用中可以看出，洁净车间净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均采用了初级效率、中级效率、效率的空气过滤器。净化工程洁净车间技术是一个新兴的科学技术领域，是近些年来，根据企业生产发展和产品竞争力所需要的一门跨学科、跨部门的综合性科技新分支。
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