洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
洁净车间地面装饰资料的焚烧功能应契合现行标准《修建内部装饰规划防火规范》GB50354的规则:甲、乙类洁净车间其洁净出产区应运用A型级别资料，同时应满足防火、防静电的特殊要求。丙、丁类洁净车间应运用不B2级的资料。技能竖井的壁面必须是非焚烧体，其耐火极限不行少于1小时。井壁上检查门的耐火极限不行少于0.6小时；竖井内涵各层或相隔一层楼板处,应运用等同于楼板耐火极限的非焚烧体做水平防火分隔，穿过水平防火分隔的电缆电线其周围缝隙，应运用非焚烧资料堵塞填充。
在进行洁净室净化工程的平面布局时有必要契合的现行标准中有关安全出产、消防、环保和工作卫生方面的各种要求；在进行洁净室净化工程平面布局时应充分考虑、物流的安排．极力做到短捷、流畅。在空间规划时应分考虑产品出产过程和洁净室净化工程装饰内各种管线、物流运送的合理安排。在确定洁净厂房的平面、空间安置后，对洁净室净化工程规划涉及的各个提出规划内容、技能要求及规划中应留意的相关问题。
洁净室净化工程检测点的安置：依据人民共和国GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规则：在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;关于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅安置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2安置5个测点。
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