真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。维护真空镀膜机不可少的一个环节，当发现真空镀膜机腔体漏气的时候，能及时排查处理，显得非常得重要。一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生，当抽气系统抽气后使真空室内压强下降，外部与内部的压强差使气体从压强高的
小型气相沉积设备
真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。维护真空镀膜机不可少的一个环节，当发现真空镀膜机腔体漏气的时候，能及时排查处理，显得非常得重要。一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生，当抽气系统抽气后使真空室内压强下降，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，造成真空度下降。
真空镀膜设备选购因素
1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
3、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
真空镀膜机的镀膜性能
（1） 金属外观
（2） 均色
（3） 表面，在各种基本空气和阳光直射环境条件下保持良好外观。
（4） 颜色深沉明亮
（5） 它是经济的，并且可以减少清洁和抛光电镀黄铜或金所需的时间和成本。
真空镀膜设备三大保养技巧
当镀膜设备工作完成到两百个镀膜的时候，拆出密封圈，及时清洁设备环境（室内环境）。如何清洁保养？首先我们要使镀上去的膜层掉落，同时释放氢气，清洗过程中要注意所使用到的溶液会灼伤人体的皮肤，所以通常我们要小心谨慎用碱饱和溶液不断来回清洗真空适合内部（内壁），再用清水洗刷真空室，并通过抹布沾上擦拭抽阀里面的污渍。
真空镀膜设备的不断完善、大型化和连续化，以及涂料涂装技术的发展，可获得结合力好、性强、光亮度高的装饰性镀层。国外在执手、铰链等一些配件表面，采用真空镀Au、Ag、Al、Zr、TiN、lCrl8Ni9等，而获得综合性能的外表面，使执手、铰链等这些单一功能性配件成为具有使用功能和装饰双重性能的配件。
机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要运用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在运用，这篇文章首要介绍)四种类型。
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