气体分析质谱仪：主要有：呼气质谱仪、氦质谱检漏仪等。除以上分类外，还可以从质谱仪所用的质量分析器的不同，将质谱仪分为双聚焦质谱仪、四极杆质谱仪、飞行时间质谱仪、离子阱质谱仪、傅里叶变换质谱仪等。气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：在这类仪器中，由于质谱仪质谱仪工作原理不同，又有气相色谱-四极质谱仪、气相色谱-飞行时间质谱仪、气相色谱-离子阱质谱仪等。离子源是质谱仪的核心部件，其
高分辨质谱仪
气体分析质谱仪：主要有：呼气质谱仪、氦质谱检漏仪等。除以上分类外，还可以从质谱仪所用的质量分析器的不同，将质谱仪分为双聚焦质谱仪、四极杆质谱仪、飞行时间质谱仪、离子阱质谱仪、傅里叶变换质谱仪等。气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）：在这类仪器中，由于质谱仪质谱仪工作原理不同，又有气相色谱-四极质谱仪、气相色谱-飞行时间质谱仪、气相色谱-离子阱质谱仪等。离子源是质谱仪的核心部件，其功能是提供合适的能量使样品离子化，并使离子具有一定的能量。常用的离子源有电子轰击源、化学电离源、原子轰击源、激光电离源、电喷雾离子源等。
质谱仪真空泵的保养方法，油受到污染时：取下加油孔的塞子，倒进干净的油。重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟。断开泵和电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来。质谱仪的日常维护，如果有鬼峰出现，可以先切除色谱柱前端的部分长度，并视基线和柱流失情况，适时老化色谱柱。老化色谱柱时事先设定接口温度高于柱温，柱温升到色谱柱的zui高使用温度附近保持1-2小时。QMS是常见的质谱仪器，定量能力突出，在GC-MS中QMS占绝大多数。 优点：结构简单、成本低；维护简单；SIM功能的定量能力强；是多数检测标准中采用的仪器设备。
质谱分析是先将物质离子化,按离子的质荷比分离,然后测量各种离子谱峰的强度而实现分析目的一种分析方法。典型的质谱仪，一般由样品导入系统、离子源、质量分析器和检测器组成，此外，还含有真空系统和控制及数据处理系统等辅助设备。火花源质谱仪不仅可以进行固体样品的整体分析，而且可以进行表面和逐层分析甚至液体分析；激光探针质谱仪可进行表面和纵深分析；辉光放电质谱仪分辨率高，可进行高灵敏度，分析。
火花源质谱仪不仅可以进行固体样品的整体分析，而且可以进行表面和逐层分析甚至液体分析；激光探针质谱仪可进行表面和纵深分析；辉光放电质谱仪分辨率高，可进行高灵敏度，分析。同位素质谱分析法的特点是测试速度快，结果，样品用量少（微克量级）。能测定元素的同位素比值。广泛用于核科学，地质年代测定，同位素稀释质谱分析，同位素示踪分析。质谱仪的性能指标是它的分辨率，如果质谱仪恰能分辨质量m和m+Δm，分辨率定义为m/Δm。现代质谱仪的分辨率达 105 ～106 量级，可测量原子质量到小数点后7位数字。
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