氦质谱泄漏检测仪是一种气密性检测仪，由氦气作为泄漏气体制成。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室、抽气系统和电气部件组成。掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。氦质谱检漏仪是气体工业术语，用
制冷检漏仪
氦质谱泄漏检测仪是一种气密性检测仪，由氦气作为泄漏气体制成。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室、抽气系统和电气部件组成。掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。
氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散。氦质谱检漏仪在使用过程中，常常会出现一些故障现象，影响氦质谱检漏仪的正常运行。如不注意，则会危及检漏仪的使用寿命。氦质谱检漏仪内漏，每个电磁阀和阀门组件之间的连接部分。密封件用氟橡胶圈或金属垫片密封，密封寿命有限，使用5年以上，容易出现密封故障。
氦质谱检漏仪的基本原理是，不同质荷比的离子在磁场中运动时，其偏转半径不同，从而实现不同类型离子的分离。氦检漏设备由于检测灵敏度高、反应速度快、定位准确而得到广泛应用。但在使用过程中经常出现故障或问题，影响设备的正常使用。如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。
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