集中供气系统的特点
1、特点:实验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高,为实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。
2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的实验室空间,更换钢瓶时不需要切断气体,保证气体的连续供应。气体管道安装实验室供气系统作为一种气体补给方式,现已经被人们越来越广泛的使用。使用者只需管理较少的钢瓶,支付较少的钢瓶租金,因为使用同一气体的所有
气体管道安装价格
集中供气系统的特点
1、特点:实验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高,为实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。
2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的实验室空间,更换钢瓶时不需要切断气体,保证气体的连续供应。气体管道安装实验室供气系统作为一种气体补给方式,现已经被人们越来越广泛的使用。使用者只需管理较少的钢瓶,支付较少的钢瓶租金,因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式会减少运输费用,减少退还给气体公司的空瓶中的余气量,以及良好的钢瓶管理。
3、使用率:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处,这样的话可以更合理的设计工作场所。
4、安全性:保证其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。

高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。这些关系到你所要测验的物质的报告精度,如果你要测验的物质报告要求只是个大概的就可以,那么建议用国内的报告精度,否则,必须选择国外的,因为国内的对这一方面还处于刚开发起步阶段。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。因此在气体管路安装过程中我们要注意腐蚀1)湿气腐蚀例如HCL、CL2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶,水分的引入可能来源于客户使用,没有关闭阀门,也可能在充装过程中或水压检验中。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
实验室气体的供气方式
采用中压供气,二级减压的供气方式,气瓶气体压力为12.5MPa,经一级减压后为1MPa(管路压力1MPa),送至用气点,经二级减压后为0.3——0.5 MPa(根据仪器需求)送至仪器,供气压力比较稳定。
实验室气体管道的材质要求
(1)对所有气体无渗透性
(2)吸附效应很少
(3)对所输送的气体呈化学惰性
(4)能使输送的气体达到平衡
注:化学物质腐蚀影响等级 A—没有影响 B—轻微影响 C—中度影响 D—严重影响
316不锈钢是继304不锈钢之后,第二个得到广泛应用的钢种,具有较好的耐腐蚀性,耐高温,强度优i秀等特点,所以我们一直用 316无缝不锈钢管。
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