台式扫描电镜观察试样表面形貌从试样表面形貌获得多方面资料,不仅可以利用入射电子与样品相互作用产生的信息进行成像,还可以通过信号处理方法获得各种图像的特殊显示方法,从样品的表面形貌中获得各种信息由于扫描电子图像不是同时记录的,它是由近百万条记录逐个组成的因此,除了观察其表面形貌外,SEM还可以分析其成分和元素通过电子通道花样进行结晶学分析,选择的面积大小可以在10μm到3μm
普通透射电镜测试机构
台式扫描电镜观察试样表面形貌
从试样表面形貌获得多方面资料,不仅可以利用入射电子与样品相互作用产生的信息进行成像,还可以通过信号处理方法获得各种图像的特殊显示方法,从样品的表面形貌中获得各种信息由于扫描电子图像不是同时记录的,它是由近百万条记录逐个组成的因此,除了观察其表面形貌外,SEM还可以分析其成分和元素通过电子通道花样进行结晶学分析,选择的面积大小可以在10μm到3μm之间。

观察样品的景深大,视场大,图像富有立体感,可直接观察起伏较大
观察样品的景深大, 视场大, 图像富有立体感, 可直接观察起伏较大的粗糙表面和试样凹凸不平的金属断口象等, 使人具有亲临微观世界现场之感。样品制备简单, 只要将块状或粉末状的样品稍加处理或不处理, 就可直接放到扫描电镜中进行观察, 因而更接近于物质的自然状态。
可以通过电子学方法有效地控制和改善图像质量, 如亮度及反差自动保持, 试样倾斜角度校正, 图象旋转, 或通过Y调制改善图象反差的宽容度, 以及图象各部分亮暗适中。采用双放大倍数装置或图象选择器, 可在荧光屏上同时观察放大倍数不同的图象。

二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用比较广泛的
二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用比较广泛的, 分辨本领也很高的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。
由电子发射的电子束高可达30keV, 经会聚透镜、物镜缩小和聚焦, 在样品表面形成一个具有一定能量、强度、斑点直径的电子束。在扫描线圈的磁场作用下, 入射电子束在样品表面上按照一定的空间和时间顺序做光栅式逐点扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用, 将从样品中激发出二次电子。由于二次电子收集极的作用, 可将各个方向发射的二级电子汇集起来, 再将加速极加速射到闪烁体上, 转变成光信号, 经过光导管到达光电倍增管, 使光信号再转变成电信号。这个电信号又经视频放大器放大并将其输送至显像管的栅极, 调制显像管的亮度。因而, 再荧光屏上呈现一幅亮暗程度不同的、反映样品表面形貌的二次电子象。

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