氦质谱检漏方法分析氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5。0×10-12Pa·m3/s，
真空氦检漏系统
氦质谱检漏方法分析氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5。0×10-12Pa·m3/s，如北京中科科仪生产的542检漏仪。国外检漏仪小可检漏率高可达到5。0×10-13Pa·m3/s，如德国Inficon，法国阿尔卡特等。目前，国内外比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。后续将着重介绍真空箱法检漏在空调两器检测方面的应用。
真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。真空压力法的检测主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
随着我国工业的兴起，航空航天和工业的蓬勃发展在促进真空工业的发展中发挥了重要作用，用真空箱氦检漏回收系统代替传统的泄漏检测方法，灵敏度低、工作强度高、泄漏检测效果好。真空箱氦检漏系统特点：氨回收率高达98%以上；，多独立站点和管道设计，交替工作；微电脑控制，全自动检查，避免误检和泄漏检查。氦气检漏系统操作简单:气密性检测仪与氦气检漏或泡水检测法相比，无需操作者过多的肢体动作或长期训练，即可掌握操作方法，操作起来像个傻子。
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