真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。氢气检漏法的主要设备(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的氢气检漏仪,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与氦检相同水平。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下
氢燃料储罐氦检漏系统
真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。氢气检漏法的主要设备(1)检漏仪:采用上述工作原理制造的氢气检漏仪,由于氢气的上述性质,其灵敏度可以达到与氦检相同水平。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
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一个真空系统,经相当长时间抽气之后,仍然达不到预期的真空度,可能的原因有:抽气情况不良,即抽气系统本身的问题。放气,即真空系统或容器内部存在气体或气源。客户也可以直接使用氢气检漏仪进行高灵敏的检漏以避免温度变化带来的对压降法检漏的影响。漏气,即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题,即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位,以便修补堵漏。
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氦气
氦气穿透能力强,且易,对漏点有很好的检出能力,可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。基本工作原理是使用专门开发的氢气传感器,它只对氢气有响应信号,而对其他气体没有响应,属于唯1性检漏性检漏方法。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部,氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞,灵敏度可与性检漏方法匹敌,但要比性检漏方法简便。氦气检漏方法:首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中,并加压,让氦气通过小洞而进入管壳中;然后取出,并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气;接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
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