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粗糙和轮廓测量仪器接触法

接触式轮廓仪表面粗糙度轮廓仪的接触式，即采用触针法。触针法又称针描法，它是将一个很尖的触针(半径可以做到微米量级的金刚石针尖)垂直安置在被测表面上作横向移矶触针将随着被测表面轮廓形状作垂直起伏运魂将这种微小位移通过电路转换成电信号并加以放大和运算处理，即可得到工作表面粗糙度参数值，主要分为电感式压电式感应式等几种。这种仪器稳定性好，示数客观可靠，使用方便等优点，其垂直分辨力可达到几纳米。

粗糙和轮廓测量仪器

光切法光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法，它将一束平行光带以一定角度投射与被测表面上，光带与表面轮廓相交的曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状，解决了工件表面微小峰谷深度的测量问题，避免了与被测表面的接触。由于它采用了光切原理，所以可测表面的轮廓峰谷的大和小高度，要受物镜的景深和鉴别率的限制。峰谷高度超出一定的范围，就不能在目镜视场中成清晰的真实图像而导致无法测量或者测量误差很大但由于该方法成本低、易于操作，所以还在被广泛应用，如上海光学仪器厂生产的9J(BQ)光切法显微镜。

德国业纳检测设备

德国业纳检测设备采用的白光共焦技术，非接触式测量，精度高抗干扰能力强。可以对产品的外观，三维形貌进行的扫描，然后再使用分析软件在扫描的三维形貌上面提取所需要的数据。的测量算法可以帮您获取到几乎全部的样品参数，三维轮廓、平整度、粗糙度、高差、缝宽等。、高分辨率、高稳定性等的性能使其成功的应用于高校、研究机构及企业的研发与生产中。