无尘室工程的设计依据及要求
随着信息产业技术的发展，许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化，越来越要求生产环境具有一定的空气洁净度和环境的控制。对于IC生产，AMC分为A、B、C、D四类，即：A——酸性物质，如Hcl等。目前国内还没有统一的电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定，所以一般是依据《洁净厂房设计规范》（GB50073-2001）以及电子产品的生产
无菌洁净室
无尘室工程的设计依据及要求
随着信息产业技术的发展，许多电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化，越来越要求生产环境具有一定的空气洁净度和环境的控制。对于IC生产，AMC分为A、B、C、D四类，即：A——酸性物质，如Hcl等。目前国内还没有统一的电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定，所以一般是依据《洁净厂房设计规范》（GB50073-2001）以及电子产品的生产厂家实际经验等来确定电子厂房的洁净度等级和温湿度的要求。
在无尘室工程的设计过程中，应根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程，并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。空调净化系统由XXXXX净化工程有限公司于XXXX年XX月安装，各系统安装均按相关规范要求进行。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
一个完整的无尘车间少不了净化设备，那么无尘车间通常用到哪些净化设备呢？
一）净化无尘车间工程进风系统要安装：新风过滤箱，净化空调（净化空调要分为初效/中效/高1效三个过滤段）末端有高1效送风口。有必要时还装有净化增压箱；
二）无尘车间回风系统要安装：回风口，过滤初效器，中效回风箱；
三）进入无尘车间之前入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜空气清新机；
四）人和货物进入无尘净化车间须经过风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品；
五）在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台，层流罩，洁净棚（可移式净化工作棚），自净器。测无尘室洁净度用，激光尘埃粒子计数器；
六）无尘厂房要设计观察窗方便参观。
目前已推出的化学过滤器主要是：
a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。
至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。蘑菇的生长有时也在洁净室里进行以防止条件性1病原孢子生长过度。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.
（作者： 来源：）
