氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。对检漏方法的要求：检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；反应时间短，可以提高工作效率；根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。使用氦气
真空箱氦检漏设备
氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。对检漏方法的要求：检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；反应时间短，可以提高工作效率；根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。
使用氦气喷在管道密封接头，焊缝处喷氦，如果被检管道某处有泄漏，当氦喷到漏孔上时，氦气会立刻被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，氦质谱检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。氦质谱检漏设备检漏过程中，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。
氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。
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