20世纪90年代起，因为猜忌水中的有机物跟天然物质与氯产生反应形成的三卤存在致癌性，美国、日本跟英国等国度也逐步对臭氧在水处理中的利用产生了兴趣，并逐步 在一些饮用水处理体系中采取或增设了臭氧处理工艺。
因为臭氧比氯有较高的氧化电位，因此它比氯消毒存在更强的杀菌作用。对细菌的作用也比氯快，消耗量明显较小，且在很大水平上不受PH的影响。有关资料报道，在0.45mg/L臭氧作用下，
制氧机投放
20世纪90年代起，因为猜忌水中的有机物跟天然物质与氯产生反应形成的三卤存在致癌性，美国、日本跟英国等国度也逐步对臭氧在水处理中的利用产生了兴趣，并逐步 在一些饮用水处理体系中采取或增设了臭氧处理工艺。
因为臭氧比氯有较高的氧化电位，因此它比氯消毒存在更强的杀菌作用。对细菌的作用也比氯快，消耗量明显较小，且在很大水平上不受PH的影响。有关资料报道，在0.45mg/L臭氧作用下，经过2min，脊髓灰质炎病毒即逝世亡；如用氯消毒，则剂量为2mg/L时需经过3h。当1mL水中含有274~325个大肠菌，在臭氧剂量为1mg/L时可降落在肠菌数86%；剂量为2mg/L时，水多少乎可能完全被消毒。
臭氧在水中的溶解个别遵守亨利定律。对臭氧在水中的溶解度的重要影响因素是温度跟供气压力。因为臭氧采取在利用现场利用空气或氧气就地制备，制备出来的臭氧气体实际上是一种臭氧化气体，属于混淆气体，其中含有大量的空气跟氧气。而亨利定律表示的是某一单纯气体在水中的溶解法则，所以，臭氧在水中的溶解特点除了与上述的温度跟供气压力有关外，还与供气中含臭氧的浓度有关。此外，在一定的大气压力下，臭氧在水中的浓度与供气中的臭氧浓度有关。诚然臭氧在水中的溶解度大于氧，但溶于水中的臭氧不牢固，很轻易分解。
工业氧一般仅要求含氧纯度，对其它卫生条件等无特别要求，同时，它还含有超标的、等有害气体，水分、细菌和灰尘含量也很高，工业氧主要用于焊接、气焊、气割等。工业氧被滥用与人体所产生的具体危害：
1.工业氧中的杂质和有害气体对上下呼吸道都能造成损伤。鼻黏膜损伤后会流清鼻涕；下呼吸道损伤可以引起呼吸道黏膜水肿，气道痉挛，造成通气功能不良、呼吸困难、低氧血症（低氧血症又可造成头晕、头疼）。
2.工业用氧气瓶中可能混有其他工业气体，严重时会造成患者。为此，已于1998年明文规定医院禁止给病员使用工业氧气以及未取得许可证的液态氧。
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