漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；使用氦气喷在管道密封接头，焊缝处喷氦，如果被检管道某处有泄漏，当氦喷到漏孔上时，氦气会立刻被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，氦
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漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；使用氦气喷在管道密封接头，焊缝处喷氦，如果被检管道某处有泄漏，当氦喷到漏孔上时，氦气会立刻被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，氦质谱检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。
对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。
可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。
随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产量的重视，氦质谱检漏仪的方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；
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