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江苏半导体氦检漏服务点击了解更多「科创真空」

企业视频展播,请点击播放视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司 充注检漏气体前,试件必须抽空 为正确试漏,在充注检漏气体前将试件预抽空是完全必要的,特别是对几何形状长和窄的试件尤为重要。如果充注前未抽空,试件中的空气将被挤压至几何空间的终端,而检漏气体不可能进入这个部位,从而潜在的漏孔将仅释放空气,检漏仪则不能检测到这些漏孔。 如果采用低压力的检漏气体充注试件,抽空
半导体氦检漏服务
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充注检漏气体前,试件必须抽空

为正确试漏,在充注检漏气体前将试件预抽空是完全必要的,特别是对几何形状长和窄的试件尤为重要。如果充注前未抽空,试件中的空气将被挤压至几何空间的终端,而检漏气体不可能进入这个部位,从而潜在的漏孔将仅释放空气,检漏仪则不能检测到这些漏孔。

如果采用低压力的检漏气体充注试件,抽空也是特别重要的,因为试件中残留的空气将稀释充注的检漏气体。例如:如果试件中残留大气压空气,充注添加一个大气压的检漏气体后,试件中的检漏气体浓度便降为50%,而如果充注添加两个大气压的检漏气体,检漏气体浓度则为66%。真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的氦气,可以实现被检产品总漏率的测量。







喷氦法氦质谱检漏方法

这是常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。氦气是无毒无色无味的惰性气体,这就意味着,正常情况下其可以作为介质在所有的物体中存在,且不发生反应。







为什么氦质谱仪要用外置标准漏孔标定

输入错误的内置漏孔漏率值,氦质谱仪自检时一般也能通过,说明氦质谱仪是对比性测试设备,氦质谱仪本身并不知道检漏信号对应的漏率是多少,必须要有参照物——标注漏孔来确定。

因此,现有氦检漏相关标准中都详细规定了氦质谱检漏仪在使用前,使用过程中和使用后要正确使用标准漏孔进行标漏,才能保证氦检漏结果的正确性。







氦气检漏系统

1.效率好:由于水的粘度大于气体的粘度,与传统的泡水检测方法相比,气密性检测速度快,产品不需要干燥,所以效率好。

2.安全无污染:泡水检测会污染产品,容易间接腐蚀产品。

3.操作简单:气密性检测仪与氦气检漏或泡水检测法相比,无需操作者过多的肢体动作或长期训练,即可掌握操作方法,操作起来像个傻子。

4.成本低:与氦检漏仪相比,只需要干净的压缩气体代替氦气;传统的泡水检



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