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什么是流量控制器?
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制
高压气体流量计计算
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视频作者:厚礼博精密仪器(北京)有限公司
什么是流量控制器?
质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。表4列举Sierra公司对带测量管浸入式TMF所规定的上直管段长度。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
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流量控制器内有水怎么办及注意事项
一、当无法忍受渗水后不得不购买一批新的设备,现在就不需要使用这种方法了,当再有液态氨进入到质量流量计或质量流量控制器内部时,只需简单地用高压氨气冲洗管路后进行消毒即可。
二、排除液体的方法是怎样的呢?在容积式和差压式流量计中,被测流体的密度可能变化30%,这会使流量产生30~40%的误差。液体中含有悬浮颗粒物,抽湿过程可能会留下固体颗粒,从而导致质量流量计或质量流量控制器内留有残渣。如果设备是316L不锈钢结构的耐腐蚀系列,那您大可高枕无忧,因为耐腐蚀系列的结构与液体流量计、液体流量控制器基本相同,可较大的程度地允许液体渗入。
质量流量计在平时使用的时候需要注意哪些事项呢?
一、在使用质量流量计的时候需要防止人为的断电以及拆线,因为采取断电以及拆信号线的方法会使得设备短时间不计量还会导致计量纠纷。
二、设备在使用条件上必须进行零点标定,该设备时属于在线使用高精的测量仪表,长期使用时一定要定期的进行标定。
三、超过质量使用范围会导致仪表测量的精度下降,还会导致仪表损坏等。
四、设备的精度高,所以价位也会高,并且还需要精心的维护,在振动以及使用条件进行经常检查等,确保精度以及仪表的安全。
五、设备的应用成功与否跟安装是有直接关系的,,需要整齐的安装外,还需要减少振动的影响。
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流量控制器
气体质量流量单位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏感性,大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。
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