热发射电子需要电磁透镜才能形成光束电磁透镜热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组:会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常不止一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。
天津FIB电镜制样中心
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束
电磁透镜
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组:
会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常不止一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。
物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。

扫描电子显微镜SEM参数
扫描电子显微镜SEM 基本参数
放大率:通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到
场深:扫描电子显微镜SEM中,位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以,SEM可以用于纳米级样品的三维成像。
工作距离:工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。
如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。
如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。
通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间

扫描电子显微镜主要用于各种材料的微观分析和成分分析
扫描电子显微镜主要用于各种材料的微观分析和成分分析,已经成为材料科学、生命科学和各生产部门质量控制中不可缺少的工具之一。扫描电子显微镜与其他近代测试技术相结合用来研究原材料的矿物结构形态与材料工艺、性能的关系;研究材料的微观结构、物相组成与其性能的关系;寻找改进材质的途径和研制预见性的新材料,进行管理、异物分析、失效分析等工作。

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