双工位氦检漏系统构成（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试
氦检漏系统
双工位氦检漏系统构成（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。
钢桶真空箱检测系统介绍1、特点（1）干式检漏（2）传送机构，提升机构，不合格件分拣机构的可靠性（3）检测结果准确，（4）传送机构确保工件自动运送至待检工位并自动定位（5）特殊的真空箱底盘设计确保钢桶在检测过程中不产生形变（6）特殊的真空箱顶部压紧机构确保工件在检测过程中不产生形变及压痕（7）真空系统设计可靠，抽速快，低本底，氦质谱检测时间充足（8）检测结束后，工件自动移出待检工位2、钢桶检测的关键技术参数（1）工件外形尺寸（2）真空箱内腔尺寸（3）检测工位数（4）检测节拍（5）检测精度（6）数据存储。
影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。我国真空箱氦气检漏系统技术非常成熟，科技信息市场不断更新和迭代，氦气质谱检漏系统应用技术不断发展和完善。真空箱法检测泄漏的关键:1.选择检测泄漏方法好根据实际(大致)状况进行；2.将冷媒泄漏率转化为氦泄漏率。
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