洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限，即A≤级别界限，则判符合规定。（采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限，则判符合规定。（采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合，则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁
洁净度报告
洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限，即A≤级别界限，则判符合规定。（采样点>9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限，则判符合规定。（采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合，则判不符合规定。100级小采样量≥0.5um: 5.66L/次。其余洁净级别，≥0.5um:2.83L/次，≥5um:2.83L/次
洁净室气流流向检测
一、测试仪器
1. 支架 2. 铅垂线 3.Flo-Viz 细线 4 .气流流向检测仪
二、测试步骤
1. 用支架设立垂线作为基准线。
2. 将细线在室内悬吊，使其自然下垂，细线会随空气流向飘移。 计算偏移角=tan-1( 悬吊线徧移量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 区域量 1 点。 若是使用烟雾，其方式很类似，就是在滤网下施放烟雾，然后将铅垂线的上端点移动到与烟雾相接触，将红线当成烟雾，再计算夹角就可以了。
洁净室检测静电检测
一、测试目的，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
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