纳米尺寸研究纳米材料是纳米科学技术基本的组成部分，只有几纳米的"粒子"可以通过物理、化学和生物方法制备。纳米材料应用广泛。例如，陶瓷材料一般具有硬度高、、耐腐蚀等优点。纳米陶瓷还可以在一定程度上增加韧性，改善脆性。纳米级、纳米级等新型陶瓷纳米材料也是一个重要的应用领域。纳米材料的所有性主要源于其纳米尺寸。因此，要准确知道其尺寸，否则纳米材料的研究和应用将失去基础。纵观目
扫描电镜测试机构
纳米尺寸研究
纳米材料是纳米科学技术基本的组成部分，只有几纳米的"粒子"可以通过物理、化学和生物方法制备。纳米材料应用广泛。例如，陶瓷材料一般具有硬度高、、耐腐蚀等优点。纳米陶瓷还可以在一定程度上增加韧性，改善脆性。纳米级、纳米级等新型陶瓷纳米材料也是一个重要的应用领域。纳米材料的所有性主要源于其纳米尺寸。因此，要准确知道其尺寸，否则纳米材料的研究和应用将失去基础。纵观目前国内外的研究现状和新成果，该领域的检测方法和表征方法可采用透射电子显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜等技术，但高分辨率扫描电子显微镜的观察和尺寸检测由于其简单性和可操作性的优点而被广泛使用。此外，如果将扫描电子显微镜和扫描隧道显微镜结合起来，可以将普通的扫描电子显微镜升级为高分辨率的扫描电子显微镜。
扫描电镜的结构及工作原理
台式扫描电镜与传统的大型扫描电子显微镜相比，台式扫描电子显微镜具有体积小、操作简单、价格低廉、抽真空速度快等优点。台式扫描电子显微镜的分辨率可以满足大多数材料的显微观察。台式扫描电镜填补了光学显微镜与传统大型扫描电镜之间的分辨率的空白，可广泛应用于材料科学、纳米粒子、生物医学、食品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。接下来泽攸小编将主要介绍一下扫描电镜的结构及工作原理。
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射，而其余电子则穿透样品,逐渐失去动能，在Z后停止运动，被样品吸收。在这个过程中，99%以上的入射电子能量转化为样品热能，剩余约1%的入射电子能量激发样品的各种信号。如图1所示，这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电子显微镜设备使用这些信号来获取信息来分析样品。
扫描电子显微镜SEM参数
扫描电子显微镜SEM 基本参数
放大率：通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到
场深：扫描电子显微镜SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。
工作距离：工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。
如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。
如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。
通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间
电磁透镜的作用是把电子的束斑逐渐缩小,其由极靴和铜线圈两部
电磁透镜的作用是把电子的束斑逐渐缩小，其由极靴和铜线圈两部分组成，通过改变流过铜线圈电流的大小来改变透镜汇聚电子束的能力，在电子运动过程中，只改变速度的方向不改变速度的大小。物镜光阑用于选择电子束的孔径角，控制束流大小和调节景深，如图4 所示。在使用过程中根据实际需要，一般大光阑对应低分辨率和大电流，小光阑对应高分辨率，在光阑主轴上安装不同孔径的光阑，有旋钮调节方向。
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