此外，高科技洁净室厂房内使用许多的性与性气体，例如SiH4、H2、PH3等，更增加厂房内的潜在危险，若无适当的对策与措施，因此，为了降低火灾发生时人员的伤亡与财物的损失，必须对建筑物进行烟流控制，这一点新加坡已强制规定执行，而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制法规，其目的都是在降低火灾发生时，高温烟流对员工及设备污染的伤害。
另外，如果的温度过高
洁净室净化工程
此外，高科技洁净室厂房内使用许多的性与性气体，例如SiH4、H2、PH3等，更增加厂房内的潜在危险，若无适当的对策与措施，因此，为了降低火灾发生时人员的伤亡与财物的损失，必须对建筑物进行烟流控制，这一点新加坡已强制规定执行，而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制法规，其目的都是在降低火灾发生时，高温烟流对员工及设备污染的伤害。
另外，如果的温度过高，则HEAP或ULPA这类滤层有可能被烧穿，使得危害更形雪上加霜，故而种假设无法成立。其次为蓄烟的问题，高架地板因为有开洞板的关系，会使得下层回风区火灾所产生的穿过开洞板，向上进入洁净室中而无法在高架地板下蓄积，使得排烟点的有效排烟范围于排烟闸门周围附近，因此只能抽取到少量的，故第二种假设亦难成立。一般而言，此类设计模式常见于老旧厂房的洁净室中，主要是因为从前的半导体厂在建立时会考虑到烟控系统，后来因为需要，只好在一般排气风管上开洞，在加装控制闸门后做为排烟之用，如此对原来的设备及厂务系统影响少。
3微米的有效率达到99。998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。洁净室施工及验收规范：一个建设项目：在清洁，干净的铝合金门窗紧闭的门分钟彩钢门双关着门。光门，良好刚性，良好的密封能力，该产品的良好的综合性能，表面，光滑，耐腐蚀，容易灰尘，优雅的外观，葫芦柔性，，具有噪声，发热，火灾和其它优点。根据用户要求设计，制造规格。
洁净室工程设计与施工关键性问题1．空调机房宜在洁净室侧面空调机房的位置，其位置宜在洁净室的侧面，这不但可以节能，也有利于风道的布置，并使气流组织更加合理，同时，可以节省工程费用。2．多机冷水机组更灵活冷水机组如果要求较大的制冷量，不宜选用单机，宜采用多机制，电机宜用变频调速，以降低起动功率。多机可以灵活使用，不至于出现“大马拉小车”的浪费能源现象。
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