真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成。辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵、油扩散泵三大部分组成。它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。气相沉积设备厂家
东莞拉奇纳米科技有限公司,是将派瑞林(paryl
气相沉积设备厂家
真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成。辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵、油扩散泵三大部分组成。它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。气相沉积设备厂家
东莞拉奇纳米科技有限公司,是将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。
镀膜设备种类复杂,只需要按照大的工艺分常有的,比如蒸发、磁控溅射、离子等PVD镀膜技术,按没个镀膜加工企业要求不同又需要配置不同的设备和程序。
真空镀膜机如何选型选用真空泵时,需要注意下列事项:
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
如:真空镀膜机要求1x10-5mmHg的真空度, 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空镀膜机对于真空度的极限要求和工作压力强度要求越来越大,对真空泵的抽真空能力要求就越高,通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
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