甘肃真空箱式氦检漏系统常用指南「在线咨询」

氦气检漏设备的特点和优点

说到氦气检漏设备的特点，首先，我们还需要注意核心部件分子泵，使用原装进口的检漏仪的分子泵。美国AD放大器用于有效降低氦气检漏设备的噪声并提高氦气检漏设备的灵敏度。 180度非均匀磁场质谱仪设计用于聚焦和高灵敏度。

氦气检漏设备的检漏口具有较高的耐压性，检漏率范围广，可检出较大的泄漏和较小的泄漏。 离子源灯丝采用氧化钇铱金丝，寿命长，灵敏度高。 的三屏切换，信息替换更丰富，检漏更方便； 它具有氦气清洗功能和响应功能。

氦气检漏设备可实现一键归零； 采用全自动液晶触摸彩屏显示，实现智能自动化，操作更方便，简单可靠； 中英文菜单，菜单可以一键实现，实际使用效果突出。

逆流氦质谱检漏仪

逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。设备到货后，供方在7天内尽快安装完成，并由用户进行水、电、气等的配套安装之后，供方再对设备进行调试。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。

氦检漏设备

密封器件的氦质谱细检漏技术细分为压氦法(即背压法) 和预充氦法两种。工艺流程编辑A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测。D A Howl 等首先给出了压氦法测量漏率Re 与等效标准漏率L 的关系，并指出该关系对应的气流状态为分子流，文献指出将压氦法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉，就得到预充氦法的相应关系式。无论是压氦法还是预充氦法，在公式推导中都假定候检期间环境大气中不存在氦分压。然而，实际上地球干洁大气中含有少量氦气；压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染，使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。因此，推导和分析环境大气中氦分压对压氦法和预充氦法的影响是十分必要的。