洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集
洁净室厂家
洁净室属于人造的环境,里面含有的粒子远一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。
此外,高科技洁净室厂房内使用许多的性与性气体,例如SiH4、H2、PH3等,更增加厂房内的潜在危险,若无适当的对策与措施,因此,为了降低火灾发生时人员的伤亡与财物的损失,必须对建筑物进行烟流控制,这一点新加坡已强制规定执行,而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制法规,其目的都是在降低火灾发生时,高温烟流对员工及设备污染的伤害。
另外,如果的温度过高,则HEAP或ULPA这类滤层有可能被烧穿,使得危害更形雪上加霜,故而种假设无法成立。其次为蓄烟的问题,高架地板因为有开洞板的关系,会使得下层回风区火灾所产生的穿过开洞板,向上进入洁净室中而无法在高架地板下蓄积,使得排烟点的有效排烟范围于排烟闸门周围附近,因此只能抽取到少量的,故第二种假设亦难成立。一般而言,此类设计模式常见于老旧厂房的洁净室中,主要是因为从前的半导体厂在建立时会考虑到烟控系统,后来因为需要,只好在一般排气风管上开洞,在加装控制闸门后做为排烟之用,如此对原来的设备及厂务系统影响少。
(作者: 来源:)