长方形一体成型腔室
超高真空(UHV)是一门精密技术的艺术，各种镀膜、检测分析、量测、及其他实验皆可根据需求整合在一个或多个的超高真空(UHV)腔体(箱体)，或以超高真空传输系统进行链接，Htc日扬真空在超高真空(UHV)腔体(箱体)制作拥有丰富经验及技术。我们根据不同的实验需求对超高真空(UHV)腔体(箱体)进行精密的设计，能满足配合客户实验上的各种质量及性能要求。
真空腔体订做厂家
长方形一体成型腔室
超高真空(UHV)是一门精密技术的艺术，各种镀膜、检测分析、量测、及其他实验皆可根据需求整合在一个或多个的超高真空(UHV)腔体(箱体)，或以超高真空传输系统进行链接，Htc日扬真空在超高真空(UHV)腔体(箱体)制作拥有丰富经验及技术。我们根据不同的实验需求对超高真空(UHV)腔体(箱体)进行精密的设计，能满足配合客户实验上的各种质量及性能要求。
1. 腔体常规材质：不锈钢304，可定制不锈钢316、316L腔体；
2. 腔体可根据需求设有快开进样门，铰链机构，移动灵活，快开门密封件材质采用氟橡胶；
3. 法兰接口、腔体大小根据客户需求定制；
4. 腔室内外超声波清洗，表面清洁；
5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
6. 配合适的真空系统，真空度可进入10-6Pa；
7. 供货周期：确认方案后5到6周；
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容，沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产长方形一体成型腔室产品，欢迎新老客户莅临。
真空腔体概述
真空设备包含很多组件，如真空腔体，真空密封传导件，视口设置，真空传感器，真空显示表，沉积系统，蒸发源和蒸发材料，溅镀靶材，等离子刻蚀设备，离子注入设备，真空炉，真空泵，法兰，阀门和管件等。真空设备常用于脱气，焊接，制备薄膜涂层，生产半导体/晶圆、光学器件以及特殊材料等。
基板指的是一个大的法兰适配器，可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置，可连接到真空抽气系统。
脱气箱或者脱气室通常是腔体结构，一般带有铰链接口，可连接不需要高真空环境的其他装置，如塑料样品、血液、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。
辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。
基地井整合了基板和真空密封颈，用焊接接头取代一个真空密封件，可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。
真空腔体中抽气管道的设计原则
为一个工艺选择真空泵时，工艺室和泵之间的抽气管道可能和泵的选择一样重要。要使腔体抽气速率达到大，需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。
看起来似乎很简单，但是这里有许多因素需要考虑。实际上，如果我们从物理学角度考虑，就可以明确哪些是关键因素。真空腔体
在稳定状态的条件下，如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝)，抽气管道任何截面的质量流量必须相同。简单而言，进入工艺室的气体必须从泵出来。
已知气体摩尔流量为M(公斤/摩尔)、抽气速率为S(立方米/秒)、压力为P(帕)、温度为T(开尔文)，则质量流量计算如下：
质量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用气体常数
对于大多数抽气系统而言，气体温度(T)在抽气管道中不会显著减少，而且可以合理地假定为恒定的。
在此情况下，抽气管道任何截面(P*S)的乘积(称为通量)相同。真空腔体
由于抽气管道的压力差是气体流动的推动力，可见压力(P)必须在工艺室中为高值，在泵入口为低值。
由于我们假定通量恒定，可见抽气速率(S)在工艺室为小值，在泵入口为大值(等于泵速)。
（作者： 来源：）
