如今,气体流量传感器种类比较多,有节流式、容积式、涡街式、电磁式、热式、超声波式等若干种。多数是采集流体的温度、压力等信号,再换算成流量。但由于气体流动状态不稳定,使气体流量传感器的流量测量准确性受到影响。而由美国的科学家发明的插入式气体流量传感器,为流量的测量带来了一场革命,实现了直接测量流体质量流量的目的。经过极化处理后,它的压电效应非常明显,具有很高的压电
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如今,气体流量传感器种类比较多,有节流式、容积式、涡街式、电磁式、热式、超声波式等若干种。多数是采集流体的温度、压力等信号,再换算成流量。但由于气体流动状态不稳定,使气体流量传感器的流量测量准确性受到影响。而由美国的科学家发明的插入式气体流量传感器,为流量的测量带来了一场革命,实现了直接测量流体质量流量的目的。经过极化处理后,它的压电效应非常明显,具有很高的压电系数,为石英晶体的几百倍。随着科学技术的不断发展, 气体流量传感器变得体积小,低成本,稳定性好,功耗低,可被批量制造。

总的来说,随着科学技术的发展,国内的气体流量传感器必能取代进口的气体流量传感器。气体流量传感器 - 分类介绍 气体流量传感器测量被测流体工作状态下的体积流量,测量原理中不涉及流体的温度、压力、密度和粘度的影响。其分类如下:
1.气体流量传感器物理量可分为位移、力、速度、温度、流量、气体成份等气体流量传感器
2.气体流量传感器按工作原理可分为应变式、压电式、压阻式、电感式、电容式、光电式、电阻、电容、电感、电压、霍尔、光电、光栅、热电偶等气体流量传感器。
3.气体流量传感器按输出信号的性质可分为:输出为开关量(“1”和'0”或“开”和“关”)的开关型气体流量传感器;输出为模拟型气体流量传感器;输出为脉冲或代码的数字型气体流量传感器。
4.气体流量传感器按转换能量的方式分:
1)能量转换型:如:压电式、热电偶、光电式传感器等;
2)能量控制型:如:电阻式、电感式、霍尔式等传感器以及热敏电阻、光敏电阻、湿敏电阻等;
5.气体流量传感器按照工作机理可分为:
1)结构型:如:电感式、电容式传感器等;
2)物性型:如:压电式、光电式、各种半导体式传感器等;
6.气体流量传感器按输出信号的形式可分为:
1)模拟式:传感器输出为模拟电压量;
2)数字式:传感器输出为数字量,如:编码器式传感器。
气体流量传感器应用广泛,种类繁多,分类方式也多种多样

压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件,在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。


压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件,在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。以锆钛酸铅为基础,用多种元素改进的三元系、四元系压电陶瓷也都应运而生。
锆钛酸铅压电陶瓷简称 PZT陶瓷,是压电陶瓷材料中用得广的一种。PZT的机电耦合系数高,温度稳定性好,并且有较高的居里温度(一300℃)。用 Sr、ca、Mg等元素部分地取代 PZT中的 Pb,或者是通过添加Nb、La、Sb、Cr、Mn等元素来改性,可以制成许多不同用途的PZT型压电陶瓷,如 PZT一4、PZT一5、PZT-6、PZT一7和 PZT一8等。PZT陶瓷的出现,是压电陶瓷发展新的里程碑,其大大提高了压电陶瓷的性能并扩大了其应用范围。压电陶瓷经过极化处理之后,就具有了各向异性,每项性能参数在不同方向上所表现的数值不同,这就使得压电陶瓷的性能参数比一般各向同性的介质陶瓷多得多。除了 PZT之外,二元系压电陶瓷还有(Pb,Ba)NbO3、(Na,K)NbO3和(Na,Cd)NbO3等 ,都是 比较适用的压电材料。


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