光刻胶国际化发展
人士认为,按照现在“单打独斗”的研发路径,肯定不行。通过用强酸刻蚀玻璃板,Niepce在1827年制作了一个d’Amboise主教的雕板相的产品。相关部门要加大产业政策的配套支持力度,应从加快完善整个产业链出发,定向梳理国内缺失的、产业依赖度高的关键核心电子化学品,要针对电子化学品开发难度高,检测设备要求高的特点,组织汇聚一些优势企业和,形成一个产
RR5光刻胶厂家
光刻胶国际化发展
人士认为,按照现在“单打独斗”的研发路径,肯定不行。通过用强酸刻蚀玻璃板,Niepce在1827年制作了一个d’Amboise主教的雕板相的产品。相关部门要加大产业政策的配套支持力度,应从加快完善整个产业链出发,定向梳理国内缺失的、产业依赖度高的关键核心电子化学品,要针对电子化学品开发难度高,检测设备要求高的特点,组织汇聚一些优势企业和,形成一个产业联盟,建立一个生产应用平台,集中力量突破一些关键技术。
江苏博砚电子科技有限公司董事长宗健表示,光刻胶要真正实现国产化,难度很大。问题是国内缺乏生产光刻胶所需的原材料,致使现开发的产品碳分散工艺不成熟、碳浆材料不配套。而作为生产光刻胶重要的色浆,至今依赖日本。硅片脱水烘焙能去除圆片表面的潮气、增强光刻胶与表面的黏附性、通常大约100°C。前道工艺出了问题,保证不了科研与生产,光刻胶国产化就无期。因此,必须通过科研单位、生产企业的协同,尽快取得突破。
有提出,尽管国产光刻胶在面板一时用不起来,但还是要从政策上鼓励国内普通面板的生产企业尽快用起来。3.你们是否有可以替代ShipleyS1805的用于DVD的应用产品。只有在应用过程中才能发现问题,解决问题,不断提升技术、工艺与产品水平,实现我国关键电子化学品材料的国产化,完善我国集成电路的产业链,满足和重点产业的需求。
光刻的工序
下面我们来详细介绍一下光刻的工序:
一、清洗硅片(Wafer Clean)
清洗硅片的目的是去除污染物去除颗粒、减少其它缺陷,提高光刻胶黏附性
基本步骤:化学清洗——漂洗——烘干。
自1970年美国RCA实验室提出的浸泡式RCA化学清洗工艺得到了广泛应用,1978年RCA实验室又推出兆声清洗工艺,近几年来以RCA清洗理论为基础的各种清洗技术不断被开发出来,例如:美国FSI公司推出离心喷淋式化学清洗技术、美国原CFM公司推出的Full-Flow systems封闭式溢流型清洗技术、美国VERTEQ公司推出的介于浸泡与封闭式之间的化学清洗技术(例Goldfinger Mach2清洗系统)、美国SSEC公司的双面檫洗技术(例M3304 DSS清洗系统)、 日本提出无药液的电介离子水清洗技术(用电介超纯离子水清洗)使抛光片表面洁净技术达到了新的水平、以HF / O3为基础的硅片化学清洗技术。前道工艺出了问题,保证不了科研与生产,光刻胶国产化就遥遥无期。
NR9-3000PY
11.请教~有没有同时可以满足RIE
process 和Lift-off
process的光阻,谢谢!
A 我们推荐使用Futurrex
NR1-300PY来满足以上工艺的需求。
12.Futurre光刻胶里,有比较容易去除的负光阻吗?
A NR9-系列很容易去除,可以满足去胶需要。
13.我们目前用干膜做窄板,解析度不够,希望找到好的替代光阻?
A NR9-8000因为有很高的AR比例,适合取代,在凸块的应用上也有很大的好处。
14.传统的Color
filter 制程,每个颜色的烘烤时间要2-3个小时,有没有更快的方法制作Coior
filter
A 用于Silylation制程------烘烤时间只需要2分钟,同时光阻不需要Reflow, 颜色也不会老化改变,只需要在Filter上面加热溶解PR1-2000S光阻,Microlenses就能形成!
15.请问有专门为平坦化提供材料的公司吗?
A 美国Futurrex公司,专门生产应用化学品的,可以为平坦化的材料提供PC3-6000和PC4-1000都是为平坦化用途设计,台湾企业用的比较多。
16.我需要一种可用于钢板印刷的方式来涂布PROTECTIVE
COATING,那种适合??
A 推荐美国Futurrex,PC4-10000。
17.腊是用来固定芯片的,但很难清洗干净,哪里有可以替代的产品介绍下,谢谢?
A 我们公司是使用Futurrex
PC3-6000,可以替代的,而且去除比较容易,你可以试用下。
18.请问有没有100微米厚衬底为镀镍硅并可用与MEMS应用的光刻胶吗?
A NR4-8000P可以做到140微米的厚度,并在镀镍的衬底上不会出现难去胶的问题,如果是其他非镀镍衬底NR9-8000P是适合的选择。
19.谁有用在光波导图案的光刻胶?是否可以形成角度为30度的侧壁?
A 你必须实现通过逐步透光来实现掩膜图案棱的印刷,NR4-8000P是专门为光波导图案应用进行设计的产品。



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