氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。检漏仪全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。消费者在选购氦质谱检漏仪时确保这种产品能够提供更加简单的维修效果
真空氦式检漏系统
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。检漏仪全无油的干式检漏：有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。消费者在选购氦质谱检漏仪时确保这种产品能够提供更加简单的维修效果，利用这种氦质谱检漏仪才能够更好的保证设备的操作能够得以保证，也能够立足于这种氦质谱检漏仪打造更好的检测效果。
为了避免事故的发生，化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。常用的传统气体管道检漏方法，如气泡法和肥皂法在化工厂等有害气体的管道检漏不实用，检测到微漏的氦质谱检漏仪成为了化工厂安全生产作业的保障。检漏过程中，如发现大量氦气进入质谱检漏仪，应立即移去，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。
在塑料罩的不同处做出小孔，在充入一定的氦气前、后各记录的读数，然后封住小孔，1- 2小时后在相同的位置上记录新的读数。对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。高压电器行业提出的《生产63kv及以上GCB与GIS的必备条件》提出了产品符合技术条件和安全性。高压开关设备使用气体作为绝缘灭弧的介质，产品要求开关内部的气体泄漏量要小，也就是要很好的密封性。
氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种，由于后者需将设备完全抽成真空状态，往往会增加测试用设备和设备工装。检漏过程中，如发现大量氦气进入质谱检漏仪，应立即移去，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
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