净化工程气压规定:
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级。压力差的维持依靠新风
无尘室设计
净化工程气压规定:
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级。压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。洁净室中的气流速度规定这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于乱流洁净室
由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,
不过对室内气流速度也有如下要求:
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。
净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。十万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:
A.弹性扩充容易;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
医院手术室内空气净化案例:
该空气杀菌消毒净化机放置于医院的手术室,在手术前开启臭氧功能和空气净化功能,手术时关闭臭氧功能就能使医院的手术室达到手术室的洁净度要求,而且没有紫外线的消毒1杀菌存在死角的缺点,并可遥控控制,是医院手术室的首先选择消毒设备。洁净室中的气流速度规定这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。手术室面积50平方米/100平方米/200平方米都有相应的型号可以满足。
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