上海真空箱式氦检漏系统常用解决方案「科创真空」

氦气检漏

氦质谱检漏的检测精度高，可达到1×10-7Pa·m3/s。电池氦检前先将电池里的空气抽掉，然后注入氦气，用氦质谱检漏仪探测有没有氦气漏出，从而判断电池的气密性是否完好。电池氦检一般为两种方式：一种是在电池生产的中间环节，即在电池烘干注液之前进行检漏，电芯在真空箱内充氦气及检测，此法可以检测电池盖板、盖板焊接及电芯壳体等部位的气密性是否达标；另一种是在成品环节检漏，电芯在箱外充氦，电芯注入电解液的同时将氦气充入电芯内部，然后将电池放入真空箱内进行检漏。氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性：①氦气在空气中的含量少，体积含量为5。

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真空箱氦检漏基本功能

操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。工艺流程编辑A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；B1：若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止；据了解，王朝阳团队是在全气候电池技术的基础上，了10分钟快充技术，并且具有1000次以上的循环，相当于50万公里的寿命，这一技术将成为支持350千瓦级充电站的电池产品。B2：若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测；C1：若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止；C2：若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。

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氦质谱检漏仪的基本原理与结构

氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。关于氦气检漏设备，应注意其配备了标准氦气检漏装置，包括更详细的校准报告。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。