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氦质谱检漏器的主要性能指标
1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。
2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
真空箱式真空镀膜机检漏服务机构
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氦质谱检漏器的主要性能指标
1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。
2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间
氦气漏检测试
真空测试(由外向内)
氦气生产厂家表示，在真空测试中，对于较大的体积，用单独的泵系统对器件进行抽真空，对于较小的体积，则在检测器内部进行抽真空。找到漏洞使用流量可调的喷雾探针将氦气注入零件的泄漏部位。
压力测试(由内向外)
在压力测试中，零件用氦气或氦气和空气的混合物加压。找到漏洞使用连接到检漏仪入口的嗅探器探针扫描零件的潜在泄漏点。
氦检漏服务
为了正确使用氦气检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果试漏方向与使用中所受压力方向相同，将易于找到实际的漏孔而不至于受到报警的干扰。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将仅释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大大影响检漏结果。
氦质谱检漏仪技术在真空检漏领域里不仅能定位、定性、定量检漏，且具有操作简便、准确可靠、成本较低、用途广泛等特点。氦气在在半导体中的检漏作用为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化，就必须采用管壳来密封。采用这种检漏技术无论从小件到大件从小系统到大系统检漏从确定漏孔检漏到确定漏率检漏，都能准确快捷有效。随着氦质谱检漏技术的不断发展和成熟，未来将逐渐渗透到各个高低端行业领域应用前景广阔因此值得推广应用。
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