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无色无臭无味无毒的惰性气体
分子式:N2性质:纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃,空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。相对分子质量28.013熔点63.15K,-210℃,-346oF沸点,28.013临界温度126.1K,-147.05℃,-232.69oF临界压力3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia临界体积90.1cm3/mol临界密度0.3109g/cm3临界压缩系数0.292偏心因子0.040液体刻密度。

集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统需要先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。

高纯燃气管网不宜过大或过长,宜选用不封闭的环状管道
(3)依据燃气设备的散布情况,高纯燃气管网不宜过大或过长,宜选用不封闭的环状管道,在系统结束接连排放少量燃气,使管网中一直有高纯度气体循环,不会因“死区”而构成高纯度气体污染。(4)应减少不流动气体在管道中的“死区”,且不应是盲管,在储气罐和气体设备之间应设置吹扫阀控制设备和控制设备,用于控制吹扫阀的开关次序和系统,以保证供气系统的安全,可靠运转,防止“死区”停留污染物构成,降低气体纯度。

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