适用于锂离子电池制造设备的真空泵制造商锂离子电池正在推动全世界的环保议程，可靠的高质量真空是其制造过程中的关键因素。我们有一系列适合所有电池制造需求的泵，这些泵由服务和支持网络提供支持。 油封旋转式叶片泵：
低成本干泵：
可减少维护成本并降低环境影响智能泵：
高控制功能ATEX 认证版本：
安全操作
惠州市明胜机电设备有限公司制造
爱德华真空泵代理
适用于锂离子电池制造设备的真空泵制造商锂离子电池正在推动全世界的环保议程，可靠的高质量真空是其制造过程中的关键因素。我们有一系列适合所有电池制造需求的泵，这些泵由服务和支持网络提供支持。 油封旋转式叶片泵：
低成本干泵：
可减少维护成本并降低环境影响智能泵：
高控制功能ATEX 认证版本：
安全操作
惠州市明胜机电设备有限公司制造销售各种真空泵，并提各类真空泵维修保养服务（罗茨，螺杆，旋片式，干式，水环式等真空泵维修保养）以及各类进口真空泵配件耗材。服务：普旭（博世）、里其乐、莱宝、贝克、爱发科、爱德华、大晃、斗一，阿尔卡特等进口真空泵。主要型号：EDWARDS爱德华EM系列E1M5,E1M8,E1M12,E1M18,E1M30,E1M40,E1M80,E1M175,E1M275,E2M0。
化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。摘要：设备安装与试运转设备监控和预防性维护设备维修与升级备件和附件产品培训和建议可提和效率的升级物流管理，可简化供应链紧急热线和服务支持-包括正常工作时间外的支持服务。
干泵选择
CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：
粉末
许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。集成式系统和生产层解决方案仅仅有泵和气体减排设备，您仍然不能随时运转您的制程。
冷凝
半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。
腐蚀
有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
真空泵泵体振动大的原因有哪些
水环变化：若水环内径变大(供水不足所致)，则叶片顶端将与水环内壁发生碰撞，产生振动。若水环内径变小(供水过量所致)，其对叶轮的扰流及阻力损失增加，引发振动，同时增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保证合适的工作水供水量，若进水管发生结垢及堵塞现象。只凭进水压力不能准确衡量进水供应情况，一般可通过观察上海真空泵的排水量来判断水环的工作情况。冷凝半导体制程的某些副产品含有气体，当气体分压增加或与冷表面接触时，这些气体会从气相变为固相。
（作者： 来源：）
