洁净度检测-采样
所用的采样管必须处理干净,与粒子计数器和采样器连接处必须严密无渗漏。采样管的长度控制在1.5m范围内。采样管的流速,要与洁净室断面风速相接近,使之成为等动力流速采样。对于大流量粒子计数器,为了降低采样管的进口空气速度能维持在0.5m/s左右,应配以采样头,否则将会出现灰尘微粒计数偏低现象。如粒子计数器无配套的采样器时,可按下式计算自行制作一个异径管(大小
洁净工作台检测标准
洁净度检测-采样
所用的采样管必须处理干净,与粒子计数器和采样器连接处必须严密无渗漏。采样管的长度控制在1.5m范围内。采样管的流速,要与洁净室断面风速相接近,使之成为等动力流速采样。对于大流量粒子计数器,为了降低采样管的进口空气速度能维持在0.5m/s左右,应配以采样头,否则将会出现灰尘微粒计数偏低现象。如粒子计数器无配套的采样器时,可按下式计算自行制作一个异径管(大小头)
工作区空态或静态条件下的空气洁净度测定
测点布置在工作区内选择具有代表性的测点。同时为了便于对空气洁净系统的洁净效果进行技术分析,还应在回风口、走廊及室外布置测点。工作区测点的布置一般距离地面0.8~1m为宜。认为需要布置测点的其他部位.水平单向流洁净室的测点应布置在一工作区内.回风口的测点布置﹑
回风口的测点布置：在有代表性的回风口处.
走廊的测点布置：走廊的测点应布置在走廊的中段距地面lm处.
室外的测点布置：室外的测点应布置在系统的新风口或大门口距地面1m 以上具有代表性的部位.
洁净室检测压差标准要求
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差，应不小于5Pa。
(2)洁净室(区)与室外的静压差，不应小于 10Pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
(4)若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
缓冲洁净室压差的检测要求
应监测开关门后压差恢复的情况，确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些（开关门）常规压差变化，以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估：
1.关闭所有的门和传递窗，定义所有设备的运行状态，观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差，注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动；
2.每个缓冲间、传递窗或转移舱，打开所有的门，一次打开一边的门，注意房间或区间压力波动。关门，确认压差回到其原始值；
3.泄漏通道，例如门周边泄漏，应进行评估，作为洁净间设计的一部分，以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。
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