电子束镀膜机部件介绍
镀膜室:
采用立式、前开门结构,外壁通冷却水。电子束蒸发镀膜机技术特点介绍采用了超高真空密封技术,极限真空度高,蒸发室可进入10-5Pa量级(≤5×10-5Pa电子枪静止状态),可保证更高的镀膜纯净度,提高镀膜质量。镀膜室尺寸Φ450×H600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块(材质:304真空不锈钢, 厚度≥1 mm),镀膜室
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电子束镀膜机部件介绍
镀膜室:
采用立式、前开门结构,外壁通冷却水。电子束蒸发镀膜机技术特点介绍采用了超高真空密封技术,极限真空度高,蒸发室可进入10-5Pa量级(≤5×10-5Pa电子枪静止状态),可保证更高的镀膜纯净度,提高镀膜质量。镀膜室尺寸Φ450×H600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块(材质:304真空不锈钢, 厚度≥1 mm),镀膜室及前开门材质:304真空不锈钢,镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术;焊接完成后,镀膜室(包括抽气管道、连接法兰等)均进行内表面抛光,外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理,以减少出气量。
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电子束镀膜的应用
作为制备与加工难熔金属的核心技术之一,电子束技术已在高温合金的成型制造与精炼、高温合金的焊接、表面改性以及涂层制备等领域得到了广泛应用,并将不断涉足航空航天以及核工业等各个领域中。超高真空密封主要采用如下技术:玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等,整机主要采用金属密封技术,前开门用氟胶圈,真空管路用不锈钢金属波纹管路(不用橡胶管路),采用高真空阀门。此外,随着对高温合金使用性能要求的不断提高以及新型高温合金的开发,电子束技术在高温合金中的应用也面临着新的挑战,因此需要不断开发电子束技术的新方法与新工艺,如将计算模拟的方法与电子束技术相结合能有效指导材料的制备与加工,此外,电子束自动化技术的应用可实现对材料制备与加工过程的准确控制,在降低劳动强度的同时提高材料的使用性能。电子束技术与高温合金的发展相互促进,电子束技术在高温合金中的应用也必然朝着较高的效率、低成本、低能耗的方向发展。此外,电子束技术的应用在大幅度提高高温合金的使用性能的同时,使得超高熔点合金的制备与加工成为可能。电子束技术与高温合金的开发紧密结合,不断发展,在高温合金中的应用领域将不断拓宽,应用前景值得期待。
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电子束镀膜机的特点/用途介绍
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产电子束,欢迎新老客户莅临。
产品特点/用途:
设备一体化设计,占地面积小,性能稳定,,使用维护成本低;
适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等;
适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。
电子束蒸发镀膜的优势
电子束蒸发的优点在于:电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。
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