此外，高科技洁净室厂房内使用许多的性与性气体，例如SiH4、H2、PH3等，更增加厂房内的潜在危险，若无适当的对策与措施，因此，为了降低火灾发生时人员的伤亡与财物的损失，必须对建筑物进行烟流控制，这一点新加坡已强制规定执行，而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制法规，其目的都是在降低火灾发生时，高温烟流对员工及设备污染的伤害。
设计千级洁净室
车间洁净室
此外，高科技洁净室厂房内使用许多的性与性气体，例如SiH4、H2、PH3等，更增加厂房内的潜在危险，若无适当的对策与措施，因此，为了降低火灾发生时人员的伤亡与财物的损失，必须对建筑物进行烟流控制，这一点新加坡已强制规定执行，而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制法规，其目的都是在降低火灾发生时，高温烟流对员工及设备污染的伤害。
设计千级洁净室里的生产设备需要注意什么首先，无尘洁净室在设计上应该充分体现出环保性理念，这点是车间设计中必须要注意的事项。并且为保证车间的安、全使用，设计者还应该从布局以及设施的安、全范围去考虑。应尽量符合消防、防火的要求，按有关标准和规范进行设计。由于无尘洁净室的平面和空间布置特殊，在进行各项技术设施的系统设计、设备配置时应特别注意按规定选用符合要求的系统和设备。
早期的工业洁净室早期主流思想就是必须大量使用消毒剂使其不含微生物。为便于消毒，墙体使用帖面，地面则用水磨石铺面，并带有排水槽和下水口，以便排出消毒剂。通风也很原始，每小时换气仅几次。在室内或在生产区与外部区域之间，还谈不上气流控制。人员穿的棉服衣着与哪个时代手术室使用的相似。那时即便有更衣区，也是非常简陋的。
半导体、集成电路生产的无尘车间要求半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求，为得到高纯度的硅材料，原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产量的一个突出问题。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关，而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此，集成电路的高速发展，不仅对空气中控制粒子的尺寸有极高的要求，而且也需进一步控制粒子数；同时，对于超大规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。
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