氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可
检漏仪设备
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸法和正压累积法。其中正压吸法采用检漏仪吸对被检产品外表面进行扫描探查，可以实现漏孔的; 正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，采用检漏仪吸测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量，实现被检产品总漏率的测量。
在许多科学领域和制造业中，氦质谱检漏仪已成为控制和监督产量的装备。尤其近几年来，电工电子产品的监督检验部门和生产厂家，制冷、汽车、航空、航天等行业强化“以质量求生存”的意识，他们在将氦质谱检漏仪用于生产线和科研应用的同时，不断探索其在本行业的应用开发并积累了很多经验。氦质谱检漏仪优点：1.采用便携式设计。2.设备外型美观小巧。3.采用液晶触摸屏设。4.有通讯接口。5.可以方便地将检漏数据输出。氦质谱检漏仪配置。1.检漏仪分子泵。2.机械泵或者干泵。3.定制检漏仪电磁阀。4.内置标准漏口。5.放大器。6.采用质谱模块 喷氦法是，方便的检漏方法。检漏时，用连接在装有氦气的气瓶上的喷向怀疑有漏泄的部位喷氦气，如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置，则装置内的氦分压就会上升，氦质谱检漏仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少，超过标准漏率值的可视为不合格。
氦质谱检漏仪同其它检方法相比，除检漏方法不同之外，以它的检测灵敏度高、速度快，可进行定性、定量、的检测特别是选择无破坏性、无毒，无危险的隋性气体氦为示踪气体，使它成为今天检漏仪器当中的。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要行检漏，使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。
氦质谱检漏仪同其它检方法相比，除检漏方法不同之外，以它的检测灵敏度高、速度快，可进行定性、定量、的检测特别是选择无破坏性、无毒，无危险的隋性气体氦为示踪气体，使它成为今天检漏仪器当中的。 氦气在空气中含量非常少，只有5ppm（空气中占约1/200，000）；在被测试的物体内部所残留的空气中的氦气含量也非常少；由于氦分子量小、分子直径小（在元素周期表中在仅排在氢的后面），即便是极其微小的渗漏孔也能方便地通过；由于具有化学上的不活跃性，不会污染排气系统及被测试物体， 由于具有对人体无害性和不可燃爆性，因此使用安全方便； 对分析管的分辨率要求并不高，容易实现高灵敏度；不存在环境污染问题。氦质谱检漏仪优点：1.采用便携式设计。2.设备外型美观小巧。3.采用液晶触摸屏设。4.有通讯接口。5.可以方便地将检漏数据输出。氦质谱检漏仪配置。1.检漏仪分子泵。2.机械泵或者干泵。3.定制检漏仪电磁阀。4.内置标准漏口。5.放大器。6.采用质谱模块
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