真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人
汽车碳罐氦检漏设备
真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
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发电机氢气系统详解
发电机的氢气系统是为汽轮发电机组提供干燥、安全的氢气，用以冷却发电机的定子铁芯及转子。设备应适用气密性检测、应具有大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、安全、可靠。一般选择氮气作为氢气与空气置换的中间介质。氢气冷却器是将氢气从发电机内吸收的热量通过闭式水带走，氢气干燥器是将氢气中的水分吸出，保证发电机内的氢气干燥，防止发电机内结露，保证发电机在允许的温度下正常运行
发电机氢气系统
氢系统氢气纯度、压力、湿度，除设有防爆型就地指示和报警装置外，还应设置输出模拟量到远方DCS显示参数及报警输出接点。
发电机冷氢温度高不超过49.5℃。氢冷却器冷却水设计温度为38℃。
氢气纯度不95％时，不影响发电机的保证出力。当计算和测定发电机效率时的基准氢气的纯度应为98％。
发电机机壳和端盖，能承受压力为2倍额定氢压时历时15分钟的水压试验，以保证运行时内部氢爆不危及人身安全。
采用闭式循环冷却水系统，水源为化学除盐水，氢气冷却器水侧设计压力为1.0MPa，试验水压为1.5MPa。但供给氢气冷却器的水压不得高于0.4MPa。
氢气冷却器的设计能在一个冷却器因故停止使用时，至少能承担发电机80%额定容量连续运行，且发电机不超过允许温升。
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