关于真空检漏漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。设环境温度T=296K，入口压力p2=1。01×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态检漏方法的分类检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏
真空氦检漏回收系统
关于真空检漏漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。设环境温度T=296K，入口压力p2=1。01×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态检漏方法的分类检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。
氦检漏法氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体，由于氦气的荷质比小，在检漏过程中不受其它气体的干扰，因此，它是一种反应灵敏，能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa。m3。s-1。运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是：通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同荷质比的离子在场中彼此分开，而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接受器接受所有这些离子，就会得到按照荷质比大小，依次分开排列的质谱图，这就是质谱。
真空设备设计中的注意事项1、根据设备的工艺要求，确定真空设备的总的大允许漏率，并依据这一总漏率确定各组成部件的大允许漏率。2、根据设备的大允许漏率等指标，在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法，并将其作为指导调试验收的基本原则之一。3、根据设备或部件的大允许漏率指标，决定设备的密封、连接方式和总体加工精度，以及何种动密封形式能够满足要求。
随着我国工业的兴起，航空航天和工业的蓬勃发展在促进真空工业的发展中发挥了重要作用，用真空箱氦检漏回收系统代替传统的泄漏检测方法，灵敏度低、工作强度高、泄漏检测效果好。真空箱氦检漏系统特点：氨回收率高达98%以上；，多独立站点和管道设计，交替工作；微电脑控制，全自动检查，避免误检和泄漏检查。氦气检漏系统操作简单:气密性检测仪与氦气检漏或泡水检测法相比，无需操作者过多的肢体动作或长期训练，即可掌握操作方法，操作起来像个傻子。
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