电镀企业产生的污染物种类很多,有含有重金属和各种有害化学物质的污水,也有很多有毒废气的排放。这些废气如不采取措施治理,会对人类和环污染。本人根据多年的电镀工艺设计的经验,提出一些电镀废气治理的有关建议和措施,为电镀行业废气空制提供技术参考,并对保护生态环境、控制空气污染具有重要的意义。
1 电镀废气概念
1.1 电镀废气种类
根据《电镀污染物排放标准)GB
镀镍加工
电镀企业产生的污染物种类很多,有含有重金属和各种有害化学物质的污水,也有很多有毒废气的排放。这些废气如不采取措施治理,会对人类和环污染。本人根据多年的电镀工艺设计的经验,提出一些电镀废气治理的有关建议和措施,为电镀行业废气空制提供技术参考,并对保护生态环境、控制空气污染具有重要的意义。
1 电镀废气概念
1.1 电镀废气种类
根据《电镀污染物排放标准)GB21900-2008,电镀废气的种类主要有、铬酸雾、硫酸雾、氮氧化物、以及氟化物。此外,还有一些含粉尘气体、有机废气、碱往气体。
电镀废气的治理方法:
根据在《电镀污染物排放标准》(GB 21900-2008)规定,对电镀钩工艺及设施必须安装局部气体收集系统,并进行集中净化治理,才能统一由排气筒排放到大气中。由此可以将电镀废气通过三种方式进行治理,分别为源头减少电镀废气、安装排风系统、安装电镀废气净化设备。
废气净化系统
酸性废气的治理中,其中酸性废气净化的主要方法是将酸性废气用三级碱液喷淋,再有烟囱排放。如处理典型酸往废气所配置的碱液如表1所示。用该方法吸收酸性废气时,在真空抽气栗上安装密闭罩,将车间内气体排放,进入装有填料的喷淋塔。该工艺去除酸性废气的效率可达90%以上。
真空蒸镀
真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能等优点。
蒸镀的物理过程包括:沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合。将基片放入真空室内,以电阻、电子束、激光等方法加热膜料,使膜料蒸发或升华,气化为具有一定能量(0.1~0.3eV)的粒子(原子、分子或原子团)。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至基片,到达基片表面的粒子一部分被反射,另一部分吸附在基片上并发生表面扩散,沉积原子之间产生二维碰撞,形成簇团,有的可能在表面短时停留后又蒸发。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞,或吸附单粒子,或放出单粒子。此过程反复进行,当聚集的粒子数超过某一临界值时就变为稳定的核,再继续吸附扩散粒子而逐步长大,终通过相邻稳定核的接触、合并,形成连续薄膜。
真空蒸镀的蒸发装置
蒸发温度1000-2000°C的材料可用电阻加热作蒸发源. 加热器电阻通电后产生热量 ,产生热量使蒸发材料的分子或原子获得足够大的动能而蒸发.
加热装置的分类和特点:
(1)丝状(0.05-0.13cm),蒸发物润湿电阻丝,通过表面 张力得到支撑。只能蒸发金属或合金;有限的蒸发材料被蒸发;蒸发材料必须润湿加热丝;加热丝容易变脆。
(2)凹箔:蒸发源为粉末。
(3)锥形丝筐蒸发小块电介质或金属。
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