真空腔体的焊接工艺
铝合金真空腔体密封水道焊接，有其特别的重要性。铝合金焊接本身就因为其特殊的物理性能，容易出现气孔，裂纹等缺陷。铝合金真空腔密封水道的焊接更加增添了焊接的难度，铝合金从固态转变为液态时，无明显的颜色变化，所以不易判断母材温度，焊接预热温度过低，起弧困难，焊接预热过高，影响母材组织性能，因此焊接预热温度，焊接速度的控制，都有很高的要求。另外，此零件焊接缺陷
定制真空腔体厂
真空腔体的焊接工艺
铝合金真空腔体密封水道焊接，有其特别的重要性。铝合金焊接本身就因为其特殊的物理性能，容易出现气孔，裂纹等缺陷。铝合金真空腔密封水道的焊接更加增添了焊接的难度，铝合金从固态转变为液态时，无明显的颜色变化，所以不易判断母材温度，焊接预热温度过低，起弧困难，焊接预热过高，影响母材组织性能，因此焊接预热温度，焊接速度的控制，都有很高的要求。另外，此零件焊接缺陷及其敏感，任何焊接不连续缺陷都是不允许的，焊后机加表面仍不允许出现气孔等缺陷，精加后先对零件进行氦气泄漏检测，检测要求氦测仪保持在1×10-9ATM CC/MEC以上，不漏；氦测后水压测试，水压保持120PISG，要求保压1h不漏，因此，铝合金水道盖板与真空腔体水道进行焊接的焊接难度较大，因此焊接工艺是非常重要的。
真空腔体焊接制造工艺中需要掌握的技术要求
焊缝是真空制造工艺中容易产生漏孔的区域之一，常见的焊缝外观缺陷及其它缺陷，如未熔合、未焊透、夹渣、气孔、裂纹及内应力都是超高真空系统中的漏孔或者虚漏源的隐患。为了大程度地减少焊缝缺陷，便于检测，超高真空要求焊接的零部件使焊缝尽量处在真空侧，大气侧焊缝仅作为间断加强焊缝，同时使大数量的焊缝能在制造阶段分别测试，在终装配前给予矫正。由于一些零部件的截面尺寸小，内壁施焊受到限制，某些部位只能采用大气侧焊缝，焊缝应一次焊好，以避免两次焊接时造成有害空间，那么真空腔体必须保证单面焊双面成型的效果优良。
另外还应该指出，由于压差、振动和热循环等原因在接头内产生的应力和应变，可能会使含有缺陷的焊缝产生裂纹从而使焊缝受损，或者在使用过程中焊缝受腐蚀，这样就可能形成漏点。
因而所采用的焊接方法必须在这些条件下能使焊缝的漏率满足技术要求。
沈阳鹏程真空腔体制造技术
提供设备腔的定制服务，腔体的外形和开口可以根据用户要求进行设计。
表面分析腔有通用腔体，用户也可以在通用腔体的基础上进行自定义设计。
手套箱和焊接箱于熔炼或焊接钛、锌等对易在大气中氧化的材料。
真空密封颈是基板和钟形罩之间的过渡组件，它可以提供额外的高度和更多的自由端口。
装载锁定室是建在主腔体上的特别制作小腔体，可在不破坏主腔体真空度的条件下，将样本、晶片或其他组件从外部大气环境移动到内部高真空环境中。
真空腔体烘烤注意事项
真空腔体烘烤时的真空度变化结果，烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 Pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时也给离子泵通电进行加热烘烤，这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高，腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出，真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少，因此真空度也逐步好转。停止烘烤时，切断加热带和离子泵的烘烤电源，然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给Ti丝通电加热，但又控制温度在Ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清除吸附在Ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物，以确保钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后，启动离子泵和钛升华泵，加大真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度降低而放出气体的减少，系统的真空度会迅速好转。
新完成的腔体一次烘烤时，一般需要一周时间，重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了更准确地测量真空度，停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话，烘烤后真空度可提升几个数量级。
（作者： 来源：）
