净化工程施工步骤原理:温湿处理,由于气流速度的关系净化工程施工步骤原理:
温湿处理,由于气流速度的关系,在一定的范围内室内的温度、湿度会产生变化造成空气无法流通,因此我们要使用空调系统使气流流通,进而控制室内的温湿。
空气过滤,这里我们使用的是初效过滤器进行空气过滤。我们要将室内空气中≥0.5μm的微粒数过滤,将空气菌过滤,过滤容易产生化学反映的一些不必要的空气。洁净手术室净化工程
净化车间建设
净化工程施工步骤原理:温湿处理,由于气流速度的关系
净化工程施工步骤原理:
温湿处理,由于气流速度的关系,在一定的范围内室内的温度、湿度会产生变化造成空气无法流通,因此我们要使用空调系统使气流流通,进而控制室内的温湿。
空气过滤,这里我们使用的是初效过滤器进行空气过滤。我们要将室内空气中≥0.5μm的微粒数过滤,将空气菌过滤,过滤容易产生化学反映的一些不必要的空气。
洁净手术室净化工程施工步骤原理介绍
净化工程施工步骤原理:
将过滤的空气送出房间,这里我们使用的是净化管道送风,俗称:送风管道
再次进行空气过滤,这里我们使用过滤器进行过滤,让空气洁净度更加适应手术室。
洁净手术室净化工程施工步骤原理介绍
再次送风,我们使用送风口或FFU送风单元,再次将过滤后的空气送出手术室。
将洁净气流送入手术室。
正压送同风
回风,空调系统将局部环境中的风经过净化后再送回局部环境
洁净手术室净化工程施工步骤原理介绍
百叶管道
初级过滤,再次循环。

净化空调系统风管的安装
安装条件
对净化空调系统风管的安装,应在建筑物内部安装部的地面做好,墙面已抹灰完毕室内 无尘土飞扬,或有防尘措施的条件下进行。
检查现场结构预留孔洞的尺寸、位置是符合图纸要求,有无遗漏现象,预留的孔洞应比风管实际截面尺寸大于10mm。
作业地点要有相应的辅助设施,比热梯子、架子及电源和安全设置、消防器材。
使风管、附件及成品及半成品,应有出厂合格证。
风管支吊架安装前必须进行防腐处理。
风管安装应按设计图,并有施工技术、质量、安全交底。

洁净室中的温湿度控制
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
洁净室中的气压规定
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

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